化学气相沉积设备及其载具

主权项

一种化学气相沉积设备，可供一挠性基板架设，并且在该挠性基板上长成一沉积膜，该沉积设备包含：一腔体，包括一反应室；及一载具，供所述挠性基板卷绕，并摆放在该腔体之反应室内，该载具包括至少一个载座单元，以及数个安装在该载座单元上并使该挠性基板围绕着一中心线由内往外层层卷绕的撑持件。