具有防潮层之磊晶矽太阳能电池;EPITAXIAL SILICON SOLAR CELLS WITH MOISTURE BARRIER

摘要

一种薄磊晶矽太阳能电池在背面上包含一或多层掺杂氧化物。作为防潮层的矽氮化物层形成在一或多层掺杂氧化物上。掺杂氧化物提供用于在磊晶矽层形成掺杂区域的掺杂物。金属接触通过矽氮化物层及一或多层掺杂氧化物电性地耦接至掺杂区域。