半导体用润湿剂及研磨用组成物

摘要

一种半导体用润湿剂，其系分子中包含具有70~99mol%之式(1)所示之结构单元及1~30mol%之式(2)所示之特定结构单元的水溶性高分子；[-CH2CH(OH)-] (1) ;[-CH2CH(X)-] (2)式(2)中，X表示具有碳数1~10之烷基的烷基醚基等。