发明名称 | 载置台 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI487047 | 申请公布日期 | 2015.06.01 |
申请号 | TW098134784 | 申请日期 | 2009.10.14 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 筱原荣一 |
分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
代理机构 | 代理人 | 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 | |
主权项 | 一种载置台,其是为了进行所具有的凹陷部由形成遍及在下面外围缘部全周围的环状突起包围之被检查体的电特性检查,用来载置在下面形成有金属覆膜的上述被检查体的载置台,其特征为,具备:具上述被检查体载置面的载置体;及可装脱固定有上述载置体的绝缘体,上述载置体,具有:形成与上述被检查体的凹陷部嵌合并且上述载置面与上述被检查体下面接触的载置部;及形成在上述载置部外侧并且可容纳上述环状突起的环状平面部,使用紧固构件使上述载置体于上述环状平面部固定在上述绝缘体。 | ||
地址 | 日本 |