基板运送装置之位置调整方法及基板处理装置

主权项

一种基板运送装置之位置调整方法，包含：第1侦测步骤，藉由基板运送装置的基板固持部以吸附、固持基板之背面，而藉由对于该固持部设置之位置侦测部，侦测该基板之外缘部的四个位置；运送步骤，以由该基板固持部吸附、固持着该基板的状态，运送至固持基板并予以旋转之基板旋转部；旋转步骤，藉由该基板旋转部使由该基板旋转部所固持的该基板旋转既定角度；接收步骤，该基板固持部吸附、接收由该基板旋转部旋转过的该基板；第2侦测步骤，藉由该位置侦测部，侦测该基板固持部所接收的该基板之外缘部的四个位置；旋转中心位置掌握步骤，依据由该第1侦测步骤侦测到之外缘部的4个位置之中任意3个位置、及由该第2侦测步骤侦测到之外缘部的4个位置之中任意3个位置，来掌握该基板旋转部的旋转中心位置；以及调整步骤，依据该所掌握的该旋转中心位置来调整该基板固持部的位置。