Apparatus for Manufacturing Silicon Substrate

摘要

실리콘 기판 제조 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘 기판 제조 장치는 실리콘 용탕이 공급되는 도가니부, 상기 도가니부의 토출부로부터 연장되며, 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖고, 상기 실리콘 기판이 이동하는 방향으로 단면적이 증가하는 가이드부를 가지는 주조부를 포함한다.