THERMAL TREATMENT APPARATUS AND THERMAL TREATMENT METHOD
摘要
<p>전면(前面)으로부터, 당해 전면에 대향하는 후면의 기류 형성용의 배기구를 향하여 횡 방향의 기류가 형성된 로딩 에어리어 내에서, 열처리 로(furnace)의 하방 측의 언로드 위치에 있어서의 웨이퍼 보트와 상기 배기구와의 사이에, 언로드에 의해 고온으로 가열된 분위기를 배기하기 위한 열 배기용의 배기구가 형성된 배기 덕트를 설치한다.</p>
