| 摘要 |
<p>본 발명은 광학거울의 공압시스템에 적용되는 중력보상장치, 중력보상방법 및 그 중력보상장치가 구비된 광학거울의 공압시스템에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 후방면에 다수의 홈이 형성된 광학 거울의 후방면과 특정공간을 갖도록 후방면 측에 결합되는 공압하우징; 내주면이 상기 광학거울의 외주면과 형상맞춤되도록 상기 광학거울과 상기 공압하우징 사이에 구비되어 상기 특정공간을 밀폐시키는 공압외부마개; 상기 특정공간을 가압하여 상기 광학거울을 부양시키는 압력가압수단; 및 상기 광학거울의 외주면을 둘러싸도록 설치된 공압외부마개의 외주면 일측에 구비되는 특정무게를 갖는 적어도 하나의 무게추와, 상기 무게추를 상기 광학거울의 무게중심면과 수직방향으로 이동시키는 이동수단을 구비한 중력보상장치;를 포함하여, 광학거울면의 가공량에 따른 광학거울 무게중심의 이동과 이로 인한 광학거울의 표면형상왜곡 현상을 무게추의 무게와 위치를 조절함으로써 효과적으로 상쇄시킬 수가 있는 중력보상장치를 갖는 광학거울의 공압시스템에 관한 것이다.</p> |
