| 摘要 |
<p>본 발명은 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 충전시스템 및 이를 이용한 냉매 충전방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 냉매가스가 순환되는 공정설비와, 제1전자제어밸브와 제1압력센서를 구비한 제1이송라인을 통해 공정설비에서 유출되는 냉매가스의 압력을 높이는 압축기(compressor)와, 제2전자제어밸브와 제2압력센서를 구비한 제2이송라인을 통해 압축기로부터 유입되는 냉매가스를 응축하는 응축기(condenser)와, 제3이송라인을 통해 응축기로부터 유입되는 냉매가스가 일시 저장되는 수액기(liquid receiver)를 구비한 본체부와, 제3전자제어밸브와 제3압력센서를 구비한 제4이송라인을 통해 수액기로부터 유입되는 냉매가스의 양을 제어하여 제4전자제어밸브와 제4압력센서를 구비한 제5이송라인을 통해 공정설비에 냉매가스를 공급하는 제1전자팽창밸브와, 제2이송라인을 통해 이송되는 냉매가스가 분기 되어 제5전자제어밸브와 제5압력센서를 구비한 제6이송라인을 통해 압축기로부터 유입되는 냉매가스의 양을 제어하여 제6전자제어밸브를 구비한 제7이송라인을 통해 제5이송라인에 냉매가스를 공급하는 제2전자팽창밸브를 구비한 온도제어부를 포함하며, 공정설비와 제1전자제어밸브 사이에서 분기 되어 제7전자제어밸브를 구비한 배출라인과, 제5이송라인에 냉매가스를 공급탱크로부터 공급하되 제8전자제어밸브를 구비한 공급라인을 포함하며, 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력 값이 수신되는 수신부와, 각각의 압력센서를 통해 감지되는 압력의 기준압력 값이 기 설정되는 설정부와, 각각의 전자제어밸브를 통합 제어하는 제어부를 구비하는 메인 컨트롤러부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스를 매개체로 하는 반도체 제조공정설비용 온도 제어시스템의 냉매 충전시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 액상의 냉각 유체를 사용하지 않고, 가스를 사용하여 반도체 제조공정설비의 온도를 제어하는 온도 제어시스템의 유로에 충전되어 있는 냉매의 누출 여부를 점검하면서 동시에 냉매가 고속으로 단시간에 충전되는 효과가 있다.</p> |
