| 摘要 |
본 발명은, 직동부, 만곡부, 및 저부를 가지는 단결정 실리콘 인상용 실리카 용기로서, 상기 직동부의 OH기 농도가 30~300massppm이며, 상기 저부의 OH기 농도가 30massppm 이하이며, 상기 직동부와 상기 저부의 OH기 농도차가 30massppm 이상인 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 인상용 실리카 용기이다. 이에 의해, 인상한 단결정 실리콘 중의 보이드나 핀홀로 불리는 공동 결함을 저감할 수 있는 저비용의 단결정 실리콘 인상용 실리카 용기가 제공된다. |
