| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Abbildungssystems eines Bildbearbeitungs-Inspektionssystems, um ein Bild mit Schärfentiefeerweiterung (EDOF) bereitzustellen. Das Verfahren umfasst (a) Ablegen eines Werkstücks in einem Sichtfeld; (b) periodisches Modulieren einer Fokusposition des Abbildungssystems ohne makroskopische Anpassung des Abstands zwischen Elementen in dem Abbildungssystem, wobei die Fokusposition periodisch über mehrere Fokuspositionen entlang einer Fokusachsenrichtung in einem eine Oberflächenhöhe des Werkstücks umfassenden Fokusbereich moduliert wird; (c) Belichten eines ersten vorläufigen Bildes während einer Bildintegrationszeit bei gleichzeitiger Modulation der Fokusposition in dem Fokusbereich; und (d) Verarbeiten des ersten vorläufigen Bildes, um im Fokusbereich während der Bildintegration auftretende unscharfe Bildbeiträge zu entfernen, um ein Bild mit Schärfentiefeerweiterung bereitzustellen, das über eine größere Schärfentiefe hinweg fokussiert ist, als es das Abbildungssystem bei einer einzigen Fokusposition bereitstellt.</p> |
