发明名称 Vakuum-Pumpeneinheit
摘要 <p>Bekannte Vakuum-Pumpeneinheiten zur Evakuierung eines Rezipienten über einen Ansaugraum weisen eine Vakuumpumpe auf, die mit dem Rezipienten eine Evakuierungsrichtung durch den Ansaugraum festlegt. Um hiervon ausgehend eine Vakuum-Pumpeneinheit anzugeben, bei der die Abscheidung von Öl-Molekülen im Rezipienten verringert ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass zur Zersetzung von Ölmolekülen im Ansaugraum mindestens eine UV-Strahlungsquelle angeordnet ist.</p>
申请公布号 DE102013113019(A1) 申请公布日期 2015.05.28
申请号 DE201310113019 申请日期 2013.11.25
申请人 HERAEUS NOBLELIGHT GMBH 发明人 PIRK, MATHYS;RÜTH, CHRISTIAN
分类号 F04F9/00;B01J19/12;F04C25/00;F04C29/02;F04C29/04;G21K5/00 主分类号 F04F9/00
代理机构 代理人
主权项
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