摘要 |
<p>[과제] 표면전극의 박리가 억제된 압전소자 및 이것을 구비한 압전 진동장치, 휴대단말, 음향 발생기, 음향 발생장치 및 전자기기를 제공한다. [해결 수단] 본 발명의 압전 액츄에이터(1)는 내부전극(2) 및 압전체층(3)이 적층된 판 형상의 적층체(4)와, 적층체(4)의 한쪽 주면에 내부전극(2)과 전기적으로 접속된 표면전극(5)을 구비한 압전소자(10)를 포함하고, 표면전극(5)은 제 1 영역(501)과 제 2 영역(502)을 갖고, 제 1 영역(501)이 은을 주성분으로 하는 영역이며, 제 2 영역(502)이 은과 팔라듐을 주성분으로 하고 압전체층(3)과 접하도록 형성된 영역인 것을 특징으로 한다.</p> |