MEMS-Vorrichtung

摘要

Eine MEMS-Vorrichtung umfasst eine feste Elektrode und eine bewegliche Elektrode, die isoliert angeordnet und durch einen Abstand von der ortsfesten Elektrode beabstandet ist. Die bewegliche Elektrode ist mittels eines oder mehrerer Abstandsstücke, die ein Isoliermaterial aufweisen, in Bezug auf die feste Elektrode aufgehängt, wobei die bewegliche Elektrode an dem einen oder den mehreren Abstandsstücken seitlich angebracht ist.