| 摘要 |
<p>외부 배선으로부터의 열 전도의 영향을 저감시킬 수 있고, 또한 굽힌 경우에도 크랙이 잘 발생하지 않고, 필름에 비소성으로 직접 성막할 수 있는 서미스터 재료층을 가진 온도 센서를 제공한다. 절연성 필름 (2) 과, 절연성 필름의 표면에 TiAlN 의 서미스터 재료로 형성된 박막 서미스터부 (3) 와, 박막 서미스터부 상에 복수의 빗부 (4a) 를 갖고 서로 대향하여 금속으로 패턴 형성된 1 쌍의 빗형 전극 (4) 과, 1 쌍의 빗형 전극에 접속되고 절연성 필름의 표면에 패턴 형성된 1 쌍의 패턴 전극 (5) 을 구비하고, 패턴 전극의 적어도 일부가 도전성 수지로 형성되어 있다.</p> |
