Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Partikelschichten und deren Verwendung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur elektrostatischen Abscheidung von Partikeln auf einem Substrat (8) umfassend mindestens ein elektrostatisches Transportfeld zwischen einem Aerosolgenerator (2) zur Emittierung eines elektrostatisch geladenen Aerosols oder Aerosolgemisches (7) und dem Substrat (8), dadurch gekennzeichnet, dass im Transportfeld mindestens ein Strömungshindernis (3) angeordnet ist. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht weiterhin die Herstellung von großflächigen homogenen Beschichtungen mit einstellbarer Schichtdicke und hoher Abscheiderate insbesondere mit empfindlichen oder biofunktionalisierten Partikeln. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung die Verwendung der Vorrichtung (1) zur Abscheidung von biochemischen oder chemisch aktiven Partikeln auf funktionalisierte oder nicht funktionalisierte Oberflächen.