| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 소자 형성 장치를 제공한다. 반도체 소자 형성 장치는 내부 튜브, 및 이를 감싸는 외부 튜브를 가진다. 내부 튜브의 상단에는 내부 튜브 내 상부 영역에서 압력과 내부 튜브 내 다른 영역에서 압력 편차를 줄이기 위해 통공이 형성된 플레이트가 제공된다. 플레이트에 형성된 통공들의 개공 면적의 합은 플레이트 전체 면적의 10~60 %로 제공된다. 플레이트의 중앙부에는 제 1 통공이 형성되고, 플레이트의 가장자리부에는 제 1 통공을 감싸는 환형의 배치로 복수의 제 2 통공들이 형성된다.</p> |
