キャリア基板および強誘電体層からなるセンサ装置、ならびにそのセンサ装置の製造方法および使用

摘要

本発明は、キャリア基板、ならびにそのキャリア基板上に配置された強誘電体層を備え、強誘電体層の誘電率を読み出すための手段を有するセンサ装置に関する。このセンサ装置は、強誘電体層が結晶としてキャリア基板上に配置されていることを特徴とする。このセンサ装置の製造法およびその使用を開示する。