Röntgentopographievorrichtung

摘要

Im vorliegenden Text wird eine Röntgenstrahltopografievorrichtung offenbart, die Folgendes umfasst: eine Röntgenquelle, einen Mehrschichtfilmspiegel, einen Schlitz, einen zweidimensionalen Röntgenstrahldetektor und eine Probenbewegungsvorrichtung, die die Probe nacheinander zu mehreren Schrittpositionen bewegt. Die Röntgenquelle ist ein winziger Brennpunkt. Der Mehrschichtfilmspiegel erzeugt monochromatische, kollimierte, hoch-intensive Röntgenstrahlen. Die Richtung, in der der Mehrschichtfilmspiegel die Röntgenstrahlen kollimiert, stimmt mit der Breitenrichtung des Schlitzes überein. Die Schrittgröße, um die die Probe, bewegt wird, ist kleiner als die Breite des Schlitzes. Die Kombination der Größe des winzigen Brennpunktes, der Breite des Schlitzes und der Intensität der Röntgenstrahlen, die aus dem Mehrschichtfilmspiegel austreten, ermöglicht es, dass der Kontrast eines Röntgenbildes, das erzeugt wird, wenn die Detektor Röntgenstrahlen über einen vorgegebenen Zeitraum von 1 Minute oder kürzer empfängt, groß genug ist, um das Röntgenbild betrachten zu können.