| 摘要 |
본 발명은 기재(11) 상에 요철 흡수층(12)을 갖는 백 그라인드 시트(1a, 1b, 1c)로서, 상기 요철 흡수층이, (A) 우레탄(메트)아크릴레이트 및 (B) (A) 성분 이외의 중합성 단량체를 포함하는 제막용 조성물로 형성되고, 또한 하기 요건 (a) 내지 (c)를 만족시키는 층인, 백 그라인드 시트(BG 시트)에 관한 것이다. (a) 주파수 1㎐에서 측정한 70℃에 있어서의 손실 정접이 1.5 이상임 (b) 25℃에서 압축 하중 10N으로, 1㎝×1㎝의 정사각형의 상기 요철 흡수층을 압축한 후, 300초 후의 완화율이 30％ 이하임 (c) 주파수 1㎐에서 측정한 25℃에 있어서의 저장 탄성률이 1.0 내지 10.0㎫임. 본 발명의 BG 시트는, 반도체 웨이퍼가 갖는 범프 등의 요철 부분의 흡수성이 우수하고, 범프 등과 BG 시트 사이의 공극 발생을 억제할 수 있음과 동시에, BG 시트를 롤 형상으로 권취했을 때의 롤의 단부로부터 BG 시트의 수지층(요철 흡수층)이 침출되는 현상을 억제할 수 있다. |
