| 发明名称 |
OPTOELECTRONIC COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING AN OPTOELECTRONIC COMPONENT |
| 摘要 |
본 발명은 광전자 소자의 제조 방법에 관한 것으로서, 상기 방법은 - 기판을 준비하는 단계; - 상기 기판의 표면상에 핵생성층을 제공하는 단계; - 상기 핵생성층 상에 마스크층을 제공하고 구조화하는 단계; - 제 1 성장 단계에서 질화물 반도체를 성장시키는 단계, 이 경우 측방향 격자를 형성하는 웨브들이 설치되고, 이러한 웨브들은 성장 방향으로 섹션별로 사다리꼴 단면적들을 가지며; 그리고 - 상기 웨브들 사이 자유 공간들을 폐쇄하기 위하여, 제 2 성장 단계에서 질화물 반도체로 상기 웨브들을 측방향으로 과성장시키는 단계를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20150058502(A) |
申请公布日期 |
2015.05.28 |
| 申请号 |
KR20157010774 |
申请日期 |
2013.09.18 |
| 申请人 |
OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH |
发明人 |
HERTKORN JOACHIM;AHL JAN PHILIPP;ZINI LORENZO;PETER MATTHIAS;MEYER TOBIAS;FREY ALEXANDER |
| 分类号 |
H01L33/00;H01L21/02;H01L33/02 |
主分类号 |
H01L33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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