发明名称 3D-TSV-Montageverfahren für Masse-Reflow
摘要 <p>Es ist hierin ein Verfahren offenbart, das das Aufnehmen einer Platte mit einer Düse umfasst, wobei die Platte mindestens eine Öffnung umfasst, um Luft hindurch strömen zu lassen. Das Verfahren umfasst das Aufnehmen eines Chips mit der Düse derart, dass die Platte sich zwischen der Düse und dem Chip befindet. Das Verfahren umfasst das Platzieren des Chips und der Platte auf einer Vorrichtung, einem Substrat oder einem weiteren Chip derart, dass sich die Platte auf dem Chip befindet. Das Verfahren umfasst das Erwärmen der Vorrichtung, des Substrats oder eines weiteren Chips und des Chips in einer Wärmekammer, während die Platte auf dem Chip bleibt, um den Chip dauerhaft an der Vorrichtung, dem Substrat oder einem weiteren Chip zu befestigen. Ferner ist hierin ein Montagesystem offenbart, das zum Ausführen eines Verfahrens konfiguriert ist, welches die Kombination aus der Platte und dem Chip zum Befestigen des Chips an einer Vorrichtung, einem Substrat oder eines weiteren Chips durch Erwärmen nutzt.</p>
申请公布号 DE112013004281(T5) 申请公布日期 2015.05.28
申请号 DE20131104281T 申请日期 2013.08.29
申请人 UNIVERSAL INSTRUMENTS CORPORATION 发明人 GIESKES, KOENRAAD ALEXANDER
分类号 H01L29/06;H01L21/00 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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