温差致动式微阀

摘要

本发明公开了一种温差致动式微阀，属于微电子机械领域，解决了致动器产生的致动力和位移不够大的问题，解决该问题的技术方案包括第一硅片、第二硅片和第三硅片，第二硅片包括固定部和可动部，第二硅片中设有温差致动结构和连接梁，连接梁分别与温差致动结构、可动部及固定部连接，温差致动结构包括第一臂、第二臂、第一电极和第二电极，第一臂靠近连接梁的端部、第二臂靠近连接梁的端部与连接梁三者连接在一起，第一臂的另一端与第一电极连接，第二臂的另一端与第二电极连接，第一臂的宽度比第二臂小，第一臂延伸的路径长度大于第二臂延伸的路径长度，第二臂与第二电极连接的那一端的宽度小于第二臂其它部分的宽度，本发明主要用于流体控制。

主权项

温差致动式微阀,包括由第一硅片（1）、第二硅片（2）和第三硅片（3）组成的阀体（8），第二硅片位于第一硅片和第三硅片之间，第一硅片和/或第三硅片设有阀口（81），所述第二硅片包括固定部（21）和可动部（22），所述可动部具有用于连通阀口的连通腔（221），所述第二硅片中设有温差致动结构（23）和连接梁（24），所述连接梁分别与温差致动结构、可动部及固定部连接，其特征在于：所述温差致动结构包括第一臂（231）、第二臂（232）、第一电极（233）和第二电极（234），所述第一臂与第二臂并排设置且相互之间具有间隙（235），第一臂的两端和第二臂的两端分别相对应，第一臂靠近连接梁的端部、第二臂靠近连接梁的端部与连接梁三者连接在一起，第一臂远离连接梁的端部与第一电极连接，第二臂远离连接梁的端部与第二电极连接，第一电极和第二电极相互绝缘且均相对阀体固定并与阀体绝缘，所述第一臂的宽度比第二臂的宽度小，第一臂延伸的路径长度大于第二臂延伸的路径长度，所述第二臂与第二电极连接的那一端的宽度小于第二臂其它部分的宽度。