一种探测光平行扫描设备

摘要

本实用新型实施例提供了一种探测光平行扫描设备：第一反射镜、第二反射镜，第一转动平台，第二转动平台以及驱动设备；第一反射镜固定安装在第一转动平台上，第二反射镜固定安装在第二转动平台上；探测光入射至第一反射镜，第一反射镜将探测光反射至第二反射镜，第二反射镜将探测光反射至探测区域，始终保持第一反射镜与第二反射镜平行，第一反射镜和第二反射镜同步、同向并且同速转动，不断改变探测光照射探测区域的位置，实现对探测区域进行扫描探测。本实用新型实施例所提供的扫描设备，保证探测光在探测区域不同位置入射时，彼此水平，实现片状光对不同探测区域的探测样品的平行扫描，提高探测精度。

主权项

一种探测光平行扫描设备，其特征在于，所述设备包括：第一反射镜、第二反射镜，第一转动平台，第二转动平台以及驱动设备；所述第一反射镜固定安装在所述第一转动平台上，所述第二反射镜固定安装在所述第二转动平台上；所述驱动设备驱动所述第一转动平台绕所述第一反射镜的第一中轴转动，以使得所述第一反射镜绕所述第一中轴转动，所述驱动设备驱动所述第二转动平台绕所述第二反射镜的第二中轴转动，以使得所述第二反射镜绕所述第二中轴转动，第一转动平台和第二转动平台同步、同向并且同速转动，始终保持所述第一反射镜与所述第二反射镜平行，所述第一中轴为所述第一反射镜两条长边中点的连线，所述第二中轴为所述第二反射镜两条长边中点的连线；所述第一中轴的中点为第一轴心，所述第二中轴的中点为第二轴心，所述第一轴心和所述第二轴心的连线垂直于探测光入射平面；探测光入射至所述第一反射镜，第一反射镜将所述探测光反射至所述第二反射镜，所述第二反射镜将所述探测光反射至探测区域，所述驱动设备驱动所述第一转动平台绕所述第一中轴转动，并且所述驱动设备驱动所述第二转动平台绕所述第二中轴转动，始终保持所述第一反射镜与所述第二反射镜平行，不断改变所述探测光照射探测区域的位置，对探测区域进行扫描探测。