成膜装置

摘要

本发明的成膜装置的旋转工作台单元具备旋转工作台和拆装自如地安装在旋转工作台上的第1更换单元及第2更换单元。载置在第2更换单元上的工件的直径与载置在第1更换单元上的工件的直径不同。为了将不同大小的工件与靶的距离维持为一定，将载置在第1更换单元上的工件的对置于靶射出面的位置与旋转工作台的旋转中心的距离设定为，与载置在第2更换单元上的工件的对置于靶射出面的位置与上述旋转中心的距离相同。

主权项

一种成膜装置，将工件通过从靶出来的粒子进行成膜处理，其特征在于，具备腔室和旋转体单元；所述腔室具有上述靶；所述旋转体单元收存在上述腔室内部；上述旋转体单元具有旋转体、驱动部和多个更换单元；所述驱动部将上述旋转体绕旋转中心旋转驱动；所述多个更换单元具有工件载置部及支承部，以在上述旋转体的周向上相互离开间隔而排列的方式拆装自如地安装在上述旋转体上，所述工件载置部载置上述工件，所述支承部能够旋转地支承上述工件载置部。