发明名称 |
一种太阳能电池扩散吸杂的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种太阳能电池扩散吸杂的方法,具体步骤如下,(1)第一次双面浓磷重扩散吸杂步骤:将原始硅片插入双面扩散石英舟之中,然后送进扩散炉进行浓磷重扩散吸杂,通入的小氮流量为2000~6000ml/min,通磷时间为10~30分钟;(2)制绒步骤:将双面浓磷重扩散后的硅片送入制绒机制作绒面;(3)第二次双面正常扩散步骤:将制绒后的硅片插入双面扩散石英舟之中送进扩散炉,通入的小氮流量为200~2000ml/min,通磷时间为10~30分钟。本发明吸杂效果好,提高了电池效率,且与传统太阳能电池生产线兼容,适合于大批量生产。 |
申请公布号 |
CN104659151A |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201510065245.7 |
申请日期 |
2015.02.09 |
申请人 |
浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
发明人 |
蔡永梅;蒋方丹;金浩;陈康平 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/223(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 |
代理人 |
吴关炳 |
主权项 |
一种太阳能电池扩散吸杂的方法,其特征在于:包括第一次双面浓磷重扩散吸杂步骤、制绒步骤和第二次双面正常扩散步骤,具体步骤如下,(1)第一次双面浓磷重扩散吸杂步骤:将原始硅片插入双面扩散石英舟之中,然后送进扩散炉进行浓磷重扩散吸杂,通入的小氮流量为2000~6000ml/min,通磷时间为10~30分钟;(2)制绒步骤:将双面浓磷重扩散后的硅片送入制绒机制作绒面;(3)第二次双面正常扩散步骤:将制绒后的硅片插入双面扩散石英舟之中送进扩散炉,通入的小氮流量为200~2000ml/min,通磷时间为10~30分钟。 |
地址 |
314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇工业区袁溪路58号 |