发明名称 |
低暗电流的共振隧穿二极管高灵敏度探测器 |
摘要 |
一种低暗电流的共振隧穿二极管高灵敏度探测器,包括:一衬底;一发射极接触层,其制作在衬底上;一发射区,其制作在发射极接触层上,发射极接触层另一侧形成一台面;一隔离层,其制作在发射区上;一双势垒结构,其制作在隔离层上;一吸收层,其制作在双势垒层结构上;一集电区,其制作在吸收层上;一上电极,其制作在集电区上;一下电极,其制作在发射极接触层另一侧的台面上。本发明可以进一步降低暗电流。通过使用本发明提出的npin型掺杂,基于共振隧穿二极管的近红外探测器将会得到低的暗电流。 |
申请公布号 |
CN104659145A |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201510098629.9 |
申请日期 |
2015.03.06 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
裴康明;倪海桥;詹锋;董宇;牛智川 |
分类号 |
H01L31/101(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/101(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
任岩 |
主权项 |
一种低暗电流的共振隧穿二极管高灵敏度探测器,包括:一衬底;一发射极接触层,其制作在衬底上;一发射区,其制作在发射极接触层上,发射极接触层另一侧形成一台面;一隔离层,其制作在发射区上;一双势垒结构,其制作在隔离层上;一吸收层,其制作在双势垒层结构上;一集电区,其制作在吸收层上;一上电极,其制作在集电区上;一下电极,其制作在发射极接触层另一侧的台面上。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |