发明名称 |
用于显示装置的阵列基板 |
摘要 |
本发明提供一种显示装置和用于电子装置的双栅极型薄膜晶体管(TFT)结构。根据一实施方式,双栅极TFT结构包括:形成在基板上的第一栅极;形成在第一栅极上的半导体层;形成在半导体层上的绝缘层,且绝缘层中包括第一、第二和第三接触孔;分别通过第一接触孔和第二接触孔而与半导体层接触的漏极和源极;形成在漏极和源极上的钝化层,且钝化层中包括第四接触孔;形成在钝化层上的平坦化层,且平坦化层中包括第五接触孔;以及形成在平坦化层上的第二栅极,且第二栅极通过第三、第四和第五接触孔而与第一栅极电气接触。 |
申请公布号 |
CN104659057A |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201410569494.5 |
申请日期 |
2014.10.22 |
申请人 |
乐金显示有限公司 |
发明人 |
金廷桓;曺基述 |
分类号 |
H01L27/32(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/32(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国 |
主权项 |
一种显示装置,包括:第一栅极和栅极绝缘层,所述第一栅极和所述栅极绝缘层都形成在基板上;形成在所述栅极绝缘层上的半导体层;形成在所述栅极绝缘层上的蚀刻阻挡层,并且所述蚀刻阻挡层中包括第一接触孔、第二接触孔和第三接触孔;漏极和源极,所述漏极和所述源极都形成在所述蚀刻阻挡层上,且所述漏极和所述源极分别通过所述第一接触孔和所述第二接触孔而都与所述半导体层接触;第一辅助图案,所述第一辅助图案通过所述第三接触孔而与所述第一栅极接触;形成在所述漏极和所述源极上的钝化层,所述钝化层中包括第四接触孔;第二辅助图案,所述第二辅助图案通过所述第四接触孔而与所述第一辅助图案接触;形成在所述钝化层和所述第二辅助图案上的平坦化层,且所述平坦化层中包括第五接触孔;以及形成在所述平坦化层上的第二栅极,并且所述第二栅极通过所述第五接触孔而与所述第二辅助图案接触。 |
地址 |
韩国首尔 |