一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统

摘要

本实用新型公开了一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统，包括底板、与底板固定连接的固定柱、垫片、盖板的夹具和装液斗；所述垫片可以穿过固定柱，用于隔离石墨烯薄膜支撑层；所述盖板置于固定柱的顶部，用于配合装液斗的格挡柱防止夹具在催化基底进行刻蚀时，夹具漂浮到刻蚀液液面上；所述装液斗包括箱体和固定箱体上部的固定板，所述箱体设置有漏孔，所述固定板设置有机械手挂钩孔和格挡圆柱安装孔；所述底板、与底板固定连接的固定柱、垫片和盖板组装完成所形成的夹具放置于装液斗的箱体内部。本实用新型能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时通过装液斗和盖板的配合可以避免夹具在催化基底进行刻蚀时，夹具浮漂在刻蚀液液面上的情况。

主权项

一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统，其特征在于：包括由底板（1）、与底板固定连接的固定柱（2）、垫片（3）、盖板（4）组成的夹具和装液斗（5）；所述垫片（3）可以穿过固定柱（2），用于隔离石墨烯薄膜支撑层；所述盖板（4）置于固定柱（2）的顶部，用于防止夹具在催化基底进行刻蚀时，夹具浮漂在刻蚀液液面上；所述装液斗（5）包括箱体（5‑1）和固定箱体（5‑1）上部的固定板（5‑2），所述箱体（5‑1）设置有漏孔（5‑1‑1），所述固定板（5‑2）设置有机械手挂钩孔（5‑2‑1）和格挡圆柱安装孔（5‑2‑2）；所述底板（1）、与底板固定连接的固定柱（2）、垫片（3）和盖板（4）组装完成夹具装置之后放置于装液斗（5）的箱体（5‑1）内部。