调度表生成装置、程序以及方法、基板处理装置以及方法

摘要

提供一种在搬运多张基板时的调度表生成中，能够生成时间效率高的调度表的技术。本发明的调度表生成装置，在通过处理部对多张基板进行处理并搬运时的调度表生成中，判断是否能够通过一并搬出流程使搬运比通过依次搬出流程早结束，然后根据判断结果选择性地采用一并搬出流程或依次搬出流程。其中，依次搬出流程是以能够开始进行搬运处理的时刻早的顺序将各基板搬运至规定的搬运目的地的流程，一并搬出流程时在后基板的搬运处理能够开始的时刻之前不搬运能够开始进行搬运处理的基板，而在变为在后基板的搬运处理能够开始的时刻时一并将多张基板搬运至搬运目的地的流程。

主权项

一种调度表生成装置，用于生成基板处理装置的控制调度表，该控制调度表包括搬运处理的调度表，该搬运处理指，利用规定的搬运单元将被多个处理单元并行且在彼此独立的时刻处理过的多张基板向规定的搬运目的地搬运的处理，该调度表生成装置的特征在于，具有比较单元和选择性调度表生成单元，该比较单元针对在先基板和在后基板相互比较第1判定用时刻值和第2判定用时刻值，所述在先基板指，通过所述多个处理单元中的任意的一处理单元进行的处理先结束的基板，所述在后基板指，通过所述多个处理单元中的与所述一处理单元不同的处理单元进行的处理在所述在先基板的处理结束之后结束的基板，在将对所述在先基板进行处理的处理单元称为第1处理单元，将对所述在后基板进行处理的处理单元称为第2处理单元时，所述第1判定用时刻值为与依次搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述依次搬出流程为，依次对所述在先基板和所述在后基板进行所述搬运处理的搬出时序，所述第2判定用时刻值为与一并搬出流程结束的时刻相对应的时刻值，所述一并搬出流程表为，使所述在先基板待机至通过所述第2处理单元对所述在后基板进行的处理结束为止，并在对所述在后基板的处理结束之后，对所述在先基板和所述在后基板一并进行所述搬运处理的搬出时序；在所述第1判定用时刻比所述第2判定用时刻早时，所述选择性调度表生成单元采用所述依次搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据，在所述第2判定用时刻比所述第1判定用时刻早时，所述选择性调度表生成单元采用所述一并搬出流程来生成所述基板处理装置的调度表数据。