储气钢瓶纯化方法和系统

摘要

本发明公开了一种储气钢瓶纯化系统，包括至少一条测漏路径、排空路径和抽真空路径，所述测漏路径的一端连接于气源，另一端通过阀门与钢瓶连接；所述排空路径的一端连接于吸收塔，另一端通过阀门与钢瓶连接；所述抽真空路径的一端连接于真空泵，另一端通过阀门与钢瓶连接；所述真空泵与所述吸收塔连接。本发明的储气钢瓶纯化方法和系统可直接应用于锗烷气体生产企业对锗烷钢瓶的纯化。

主权项

一种储气钢瓶纯化系统，包括至少一条测漏路径、排空路径和抽真空路径，所述测漏路径的一端连接于气源，另一端通过测漏阀门与旁路阀门连接后再与钢瓶连接；所述排空路径的一端连接于尾气吸收塔，另一端通过排空阀门与旁路阀门连接后再与钢瓶连接；所述抽真空路径的一端连接于真空泵，另一端通过抽真空阀门与旁路阀门连接后再与钢瓶连接；所述真空泵与所述尾气吸收塔连接；所述系统还包括杂质吸收塔，所述气源中的气体经该杂质吸收塔后进入测漏路径；所述气源和杂质吸收塔之间具有气体压力调节阀，所述气体压力调节阀对系统中的每个钢瓶的瓶阀进行通过性测试；所述系统还包括压力表，用于检测钢瓶内气体压力，所述压力表处在旁路阀门的后端，并处在测漏阀门和排空阀门以及真空阀门的前端。