发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 本发明提供了一种半导体器件,该半导体器件包括具有表面的衬底、设置在衬底的表面上的多个焊盘,多个焊盘包括非焊料掩模限定(NSMD)焊盘和焊料掩模限定(SMD)焊盘,并且NSMD焊盘布置在预定位置处。此外,一种制造半导体器件的方法包括:提供衬底,在衬底的表面上设置多个焊盘,在衬底的表面和多个焊盘的上方设置焊料掩模,在焊料掩模中形成第一凹槽以围绕多个焊盘中的一个,以及在焊料掩模中并且在多个焊盘中的一个之上形成第二凹槽。本发明还提供半导体器件的制造方法。
申请公布号 CN104659003A 申请公布日期 2015.05.27
申请号 CN201410377149.1 申请日期 2014.08.01
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 陈洁;陈英儒;陈宪伟;于宗源
分类号 H01L23/488(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L23/488(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种半导体器件,包括:衬底,包括表面;多个焊盘,设置在所述衬底的表面上;其中,所述多个焊盘包括非焊料掩模限定(NSMD)焊盘和焊料掩模限定(SMD)焊盘,并且所述NSMD焊盘布置在预定位置处。
地址 中国台湾新竹