发明名称 |
半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种半导体器件,该半导体器件包括具有表面的衬底、设置在衬底的表面上的多个焊盘,多个焊盘包括非焊料掩模限定(NSMD)焊盘和焊料掩模限定(SMD)焊盘,并且NSMD焊盘布置在预定位置处。此外,一种制造半导体器件的方法包括:提供衬底,在衬底的表面上设置多个焊盘,在衬底的表面和多个焊盘的上方设置焊料掩模,在焊料掩模中形成第一凹槽以围绕多个焊盘中的一个,以及在焊料掩模中并且在多个焊盘中的一个之上形成第二凹槽。本发明还提供半导体器件的制造方法。 |
申请公布号 |
CN104659003A |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201410377149.1 |
申请日期 |
2014.08.01 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
陈洁;陈英儒;陈宪伟;于宗源 |
分类号 |
H01L23/488(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/488(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;孙征 |
主权项 |
一种半导体器件,包括:衬底,包括表面;多个焊盘,设置在所述衬底的表面上;其中,所述多个焊盘包括非焊料掩模限定(NSMD)焊盘和焊料掩模限定(SMD)焊盘,并且所述NSMD焊盘布置在预定位置处。 |
地址 |
中国台湾新竹 |