关键尺寸测量方法和系统

摘要

本发明提供了一种关键尺寸测量方法和系统，其中的关键尺寸测量系统包括第一设备和第二设备，所述第一设备用于依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至所述第二设备；所述第二设备用于接收并存储来自所述第一设备的数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。基于上述方案，本发明可以解决现有技术中不能正常匹配特征图片时设备暂停运行会导致设备稼动率严重下降的问题。与不能正常匹配特征图片时设备暂停运行的现有技术相比，本发明可以提高关键尺寸测量的设备运行效率，提升设备稼动率。

主权项

一种关键尺寸测量系统，其特征在于，包括第一设备和第二设备，所述第一设备用于依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至所述第二设备；所述第二设备用于接收并存储来自所述第一设备的数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。