声波滤波器和双工器

摘要

本发明涉及声波滤波器和双工器。声波滤波器包括串联共振器和并联共振器，该串联共振器和并联共振器在同一基板上具有压电膜并且具有下电极和上电极，其中：串联共振器和并联共振器中的一方在共振区域中、在下电极或上电极的与压电膜相反的面上具有温度补偿膜，补偿膜具有的温度系数的弹性常数的正负号与压电膜的弹性常数的温度系数的正负号相反；并且串联共振器和并联共振器中的另一方在共振区域中、在与压电膜相比时在下电极侧或上电极侧中的与串联共振器和并联共振器中的一方中的温度补偿膜的相同侧上具有附加膜。

主权项

一种声波滤波器，该声波滤波器包括：串联共振器和并联共振器，所述串联共振器和并联共振器具有位于同一基板上的压电膜并且具有夹着所述压电膜并彼此面对的下电极和上电极，其中：所述串联共振器和所述并联共振器中的一方在共振区域中、在所述下电极或所述上电极的与所述压电膜相反的面上具有温度补偿膜，在所述共振区域中所述下电极与所述上电极夹着所述压电膜并彼此面对，所述补偿膜具有的温度系数的弹性常数的正负号与所述压电膜的弹性常数的温度系数的正负号相反；并且所述串联共振器和所述并联共振器中的另一方在所述共振区域中、在与所述压电膜相比时在所述下电极侧或所述上电极侧中的与所述串联共振器和所述并联共振器中的所述一方中的所述温度补偿膜的相同侧上具有附加膜。