发明名称 包括氧化物薄膜晶体管的阵列基板及其制造方法
摘要 包括氧化物薄膜晶体管的阵列基板及其制造方法。一种阵列基板包括:栅屏障层,其在基板上;选通线,其在所述栅屏障层上,所述选通线具有暴露栅极区中的栅屏障层的栅开口部分;栅绝缘层,其在所述选通线上;有源层,其在所述栅极区中的所述栅屏障层上方的所述栅绝缘层上;源极和漏极,其在所述有源层上彼此分隔开。
申请公布号 CN104659035A 申请公布日期 2015.05.27
申请号 CN201410687377.9 申请日期 2014.11.25
申请人 乐金显示有限公司 发明人 杨熙正;金东先;扈源俊;金娥罗
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 吕俊刚;刘久亮
主权项 一种阵列基板,该阵列基板包括:栅屏障层,其在基板上;选通线,其在所述栅屏障层上,所述选通线具有暴露栅极区中的栅屏障层的栅开口部分;栅绝缘层,其在所述选通线上;有源层,其在所述栅极区中的栅屏障层上方的栅绝缘层上;源极和漏极,其在所述有源层上彼此分隔开。
地址 韩国首尔