发明名称 |
包括氧化物薄膜晶体管的阵列基板及其制造方法 |
摘要 |
包括氧化物薄膜晶体管的阵列基板及其制造方法。一种阵列基板包括:栅屏障层,其在基板上;选通线,其在所述栅屏障层上,所述选通线具有暴露栅极区中的栅屏障层的栅开口部分;栅绝缘层,其在所述选通线上;有源层,其在所述栅极区中的所述栅屏障层上方的所述栅绝缘层上;源极和漏极,其在所述有源层上彼此分隔开。 |
申请公布号 |
CN104659035A |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201410687377.9 |
申请日期 |
2014.11.25 |
申请人 |
乐金显示有限公司 |
发明人 |
杨熙正;金东先;扈源俊;金娥罗 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
吕俊刚;刘久亮 |
主权项 |
一种阵列基板,该阵列基板包括:栅屏障层,其在基板上;选通线,其在所述栅屏障层上,所述选通线具有暴露栅极区中的栅屏障层的栅开口部分;栅绝缘层,其在所述选通线上;有源层,其在所述栅极区中的栅屏障层上方的栅绝缘层上;源极和漏极,其在所述有源层上彼此分隔开。 |
地址 |
韩国首尔 |