复合参比敏感层氧传感器及其制造方法

摘要

本发明的目的是提供一种在结构上重大改进的宽域型氧传感器，加入薄膜结构的导体扩散层和薄膜电解质层，依托原来的敏感元件层，构建具有复合参比功能的敏感元件层。复合参比敏感层氧传感器，包括复合参比敏感元件层、中空参比层和加热层。所述的复合参比敏感元件层由上而下依次为外保护层，外电极，薄膜电解质层，外敏感电极，导体扩散层，内敏感电极，敏感元件层，参比电极；所述加热层内包含微型加热电路。其优点和功效是：消除了内部电路导通设计，保持功能性同时极大简化了设计，降低了制造难度，改善了工作状态，提高了在恶劣环境下的可靠性，延长了使用寿命。

主权项

复合参比敏感层氧传感器，包括中空参比层和加热层，所述加热层内包含微型加热电路，其特征在于：还包括复合参比敏感元件层，其结构由上而下依次为外保护层，外电极，薄膜电解质层，外敏感电极，导体扩散层，内敏感电极，敏感元件层，参比电极；其中，所述的内敏感电极、外敏感电极、参比电极、外电极为薄膜结构，厚度均为5‑10微米；外敏感电极和外电极头部尺寸一致，外敏感电极与内敏感电极尺寸一致，并在垂直方向上保持三层电极相对重合；外电极，外敏感电极，内敏感电极，此三者宽度为3‑5毫米，长度为6‑8毫米；参比电极尺寸略小于中空参比层内中空部分的尺寸，其宽度为2‑3毫米，长度为4‑6毫米，并在垂直方向上与内敏感电极保持相对重合。