发明名称 |
物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法 |
摘要 |
将载置于基板载台装置(20)上的基板(P1)交换成其他基板(P2),其包含:使保持有基板(P1)的基板载台装置(20)位于既定的物体交换位置的动作;使基板(P1)悬垂支撑于设在物体交换位置的悬垂支撑装置(50)的动作;使悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)从基板载台装置(20)离开的动作;将基板(P2)插入悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)与基板载台装置(20)之间而将该基板(P2)移交至基板载台装置(20)的动作;以及通过使基板(P1)相对悬垂支撑装置(50)移动以将基板(P1)从物体交换位置搬出的动作。 |
申请公布号 |
CN104662478A |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201380049087.5 |
申请日期 |
2013.08.07 |
申请人 |
株式会社尼康 |
发明人 |
青木保夫 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
汤在彦 |
主权项 |
一种物体交换方法,是将配置于既定的物体交换位置处的物体交换成其他物体,其包含:使保持有第1物体的物体保持装置位于所述物体交换位置的动作;使所述第1物体悬垂支撑于设在所述物体交换位置的支撑装置的动作;使悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体从所述物体保持装置离开的动作;将第2物体插入悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体与所述物体保持装置之间,而将所述第2物体移交至所述物体保持装置的动作;以及通过在将所述第2物体移交至所述物体保持装置后,使所述第1物体相对于所述支撑装置移动,以将所述第1物体从所述物体交换位置搬出的动作。 |
地址 |
日本东京都 |