一种碳纤维表面涂复碳化硅的工艺和装置

摘要

本发明公开了一种碳纤维表面涂复碳化硅的工艺和装置，该装置为改进型3射频聚焦式加热器。利用聚焦电磁场将碳纤维加热至1100～1300℃，并在石英管或反应器中制造一个氯硅烷和高纯氢气的反应环境，使氯硅烷裂解生成氯化氢的同时将碳化硅气相沉积在碳纤维表面，形成耐高温的表面涂层。

主权项

一种碳纤维表面涂复碳化硅的方法，其特征在于：该方法借助射频聚焦式加热装置对运动中的碳纤维加热，其特征在于碳纤维（9）被加热时，向石英管反应器（5）内沿碳纤维运动逆向导入氯硅烷和高纯氢气的混合气，形成一个反应环境，使氯硅烷裂解生成氯化氢的同时实现SiC沉积在石墨碳纤维表面形成涂层。