一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线

摘要

本发明公开了一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线，属于镀膜设备领域。本发明包括开卷室、收卷室和镀膜真空室，开卷室与镀膜真空室之间还设有放卷储料室，收卷室与镀膜真空室之间还设有收卷储料室，放卷储料机构的前方设有热合机构，收卷储料机构的后方依次设有切断机构和基材变向机构；缠绕于两组开卷辊上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构、放卷储料机构、前处理机构、冷辊、收卷储料机构和切断机构，并经过基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊上。本发明利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊，并结合开卷和收卷的储料机构实现多卷基材的连续镀制，省去了中间换卷及抽真空的时间，大大提高了镀膜效率。

主权项

一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线，包括开卷室(1)、收卷室(22)和镀膜真空室(9)，所述的镀膜真空室(9)内设有前处理机构(10)、冷辊(11)和一个或一个以上的磁控溅射镀膜机构(13)，其特征在于：所述的开卷室(1)和收卷室(22)均设置有两个，开卷室(1)与镀膜真空室(9)之间还设有放卷储料室(6)，收卷室(22)与镀膜真空室(9)之间还设有收卷储料室(15)，两个所述的开卷室(1)均通过闸板阀(14)与放卷储料室(6)相连通，两个所述的收卷室(22)均通过闸板阀(14)与收卷储料室(15)相连通，所述的放卷储料室(6)与镀膜真空室(9)之间、收卷储料室(15)与镀膜真空室(9)之间均设有闸板阀(14)；两个所述的开卷室(1)内各设有一组开卷辊(2)，每组开卷辊(2)下方各设有一组上料马鞍机构(3)，两个所述的收卷室(22)内各设有一组收卷辊(23)，每组收卷辊(23)下方各设有一组卸料马鞍机构(24)；所述的放卷储料室(6)内设有放卷储料机构(8)，所述的收卷储料室(15)内设有收卷储料机构(16)，所述的放卷储料机构(8)的前方设有热合机构(7)，所述的收卷储料机构(16)的后方依次设有切断机构(18)和基材变向机构；缠绕于两组开卷辊(2)上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构(7)、放卷储料机构(8)、前处理机构(10)、冷辊(11)、收卷储料机构(16)和切断机构(18)，并经过基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊(23)上；两组开卷辊(2)之后和两组收卷辊(23)之前均设有用于基材纠偏的纠偏机构(4)；所述的开卷室(1)、放卷储料室(6)、收卷储料室(15)和收卷室(22)均与设于外部的粗抽泵(25)相连，所述的镀膜真空室(9)与设于外部的分子泵组相连。