一种显微镜下观察立体结构的装置

摘要

一种显微镜下观察立体结构的装置，包括三个移动平台以及旋转单元，其特征在于：所述三个移动平台包括依次叠加设置的第一移动平台、第二移动平台和第三移动平台，所述第一移动平台沿X方向移动，第二移动平台沿Y方向移动，第三移动平台沿Z方向移动，所述X、Y和Z三个方向相互两两垂直，所述旋转单元固定于所述第三移动平台上，所述旋转单元包括轴向横向设置、并可绕轴向360度旋转的旋转轴，所述旋转轴的外侧端固定待观察的立体微结构样品。本发明的装置可以实现待测样品360度的旋转，能全方位观测微结构的形貌及尺寸。与扫描电子显微镜相比，具有成本低，操作简便、易于加工制作等突出优点。

主权项

一种显微镜下观察立体结构的装置，包括三个移动平台以及旋转单元(80)，其特征在于：所述三个移动平台包括依次叠加设置的第一移动平台(10)、第二移动平台(20)和第三移动平台(30)，所述第一移动平台(10)沿X方向移动，第二移动平台(20)沿Y方向移动，第三移动平台(30)沿Z方向移动，所述X、Y和Z三个方向相互两两垂直，所述旋转单元(80)固定于所述第三移动平台(30)上，所述旋转单元(80)包括轴向横向设置、并可绕轴向360度旋转的旋转轴(81)，所述旋转轴(81)的外侧端固定待观察的立体微结构样品。