| 发明名称 | 用于有机金属化学气相沉积反应器的平面加热器的加热组件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种含有加热体(20)的加热组件(10)，该加热体(20)至少部分地直接被多孔烧结涂层(30)覆盖，其中该加热体(20)及该多孔烧结涂层(30)各自包含至少90重量％的钨。 | ||
| 申请公布号 | CN104662197A | 申请公布日期 | 2015.05.27 |
| 申请号 | CN201380041878.3 | 申请日期 | 2013.08.05 |
| 申请人 | 普兰西欧洲股份公司;威科仪器有限公司 | 发明人 | 汉斯-彼得·马丁斯;曼弗莱德·苏利克;瓦迪姆·博古斯拉夫斯基 |
| 分类号 | C23C16/46(2006.01)I;H05B3/14(2006.01)I;H05B3/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 丁业平;金小芳 |
| 主权项 | 一种含有加热体(20)的加热组件(10)，该加热体(20)至少部分地直接被多孔烧结涂层(30)覆盖，其中该加热体(20)及该多孔烧结涂层(30)各自包含至少90重量％的钨。 | ||
| 地址 | 奥地利乐特市 | ||