发明名称 |
单晶的制造装置、用于该制造装置的坩埚以及单晶的制造方法 |
摘要 |
制造装置(10)用于利用溶液生长法制造单晶。制造装置(10)包括晶种轴(28)、坩埚(14)、以及驱动源(26)。晶种轴具有安装有晶种(32)的下端面(28S)。坩埚(14)容纳成为单晶的原料的溶液(15)。驱动源(26)使坩埚(14)旋转,并且使坩埚(14)的转速变化。坩埚(14)的内周面含有横切形状为非圆形的流动控制面(382)。该单晶的制造装置能够强烈地搅拌坩埚所容纳的溶液。 |
申请公布号 |
CN104662211A |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201380046191.9 |
申请日期 |
2013.08.30 |
申请人 |
新日铁住金株式会社;丰田自动车株式会社 |
发明人 |
龟井一人;楠一彦;矢代将齐;冈田信宏;森口晃治;大黑宽典;加渡干尚;坂元秀光 |
分类号 |
C30B17/00(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I |
主分类号 |
C30B17/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;张会华 |
主权项 |
一种单晶的制造装置,其用于利用溶液生长法制造单晶,其中,该制造装置包括:晶种轴,其具有用于安装晶种的下端面;坩埚,其容纳成为所述单晶的原料的溶液;以及驱动源,其使所述坩埚旋转,并且使所述坩埚的转速变化,所述坩埚的内周面包含横切形状为非圆形的流动控制面。 |
地址 |
日本东京都 |