用于侧面开盖的激光系统装调的气帘装置及环境隔离装置

摘要

本发明提供一种用于侧面开盖的激光系统装调的气帘及环境隔离装置，其中环境隔离装置包括气帘装置，所述气帘装置包括刚性管和供气装置，所述刚性管的两端具有气体入口和气体出口，所述供气装置与所述刚性管的气体入口连接，所述刚性管的下侧壁具有多个均匀排列的小孔。所述气帘装置安装在激光系统的箱体内部，用于在靠近前侧箱壁一侧生成平行于所述前侧箱壁的气帘。本发明还提供了相应的环境隔离方法。与现有技术相比，本发明空间占据小，便于运输、装配；对于配电要求较低；隔离效果好；成本低；噪声低。

主权项

一种用于侧面开盖的激光系统装调的环境隔离装置，包括气帘装置和空气粒子计数器，所述气帘装置安装在激光系统的箱体内部，用于在靠近前侧箱壁一侧生成平行于所述前侧箱壁的气帘，所述气帘装置包括刚性管和供气装置，所述刚性管的两端具有气体入口和气体出口，所述供气装置与所述刚性管的气体入口连接，所述刚性管的下侧壁具有多个均匀排列的小孔，所述刚性管从所述激光系统的箱体内部穿过，所述刚性管靠近所述激光系统的箱体的顶部和前侧箱壁，所述空气粒子计数器用于在所述气体入口处施加不同气压时实时测量箱体内部的洁净度。