胶带贴附设备和胶带贴附方法

摘要

本发明公开了一种胶带贴附设备(1)，该胶带贴附设备包括：容器(6)，所述容器内形成有气密空间(5)；橡胶片(10)，所述橡胶片将气密空间(5)分隔成第一和第二气密空间(7，8)并具有放置在上表面上的晶片(9)；胶带框架(12)，所述胶带框架将胶带(11)保持在橡胶片(10)的上方；以及第一和第二空气供应/排出管(13，14)，所述第一和第二空气供应/排出管切换第一和第二气密空间(7，8)的加压和减压。在使第一和第二气密空间(7，8)处于真空状态、接着通过对第二气密空间(8)进行加压使橡胶片(10)膨胀并向上推压晶片(9)来粘接胶带(11)时，在通过控制第二气密空间(8)的加压量以逐步方式将橡胶片(10)的膨胀速度从低速改变到高速的同时将晶片(9)粘接到胶带(11)。

主权项

一种胶带贴附设备，包括：容器，所述容器内形成有气密空间；弹性片，所述弹性片将所述气密空间分隔成定位在上方的第一气密空间和定位在下方的第二气密空间，胶带贴附目标对象放置在所述第一气密空间中；胶带保持构件，所述胶带保持构件将胶带保持在所述第一气密空间中，并将所述胶带定位在距离放置在所述弹性片上的所述胶带贴附目标对象预定距离处；和气压切换装置，所述气压切换装置用于切换所述第一气密空间和所述第二气密空间的加压和减压，其中，在使所述第一气密空间和所述第二气密空间达到真空状态之后，当所述胶带贴附设备对所述第二气密空间进行加压并使所述弹性片膨胀以升起将被贴附到所述胶带的所述胶带贴附目标对象时，所述胶带贴附设备在控制所述第二气密空间的加压量以逐步方式将所述弹性片的膨胀速率从低速改变到高速的同时使所述胶带贴附目标对象贴附到所述胶带，其中，所述弹性片以允许所述胶带贴附目标对象以不发生破损的挤压力压靠在所述胶带上的第一速度膨胀，直到所述胶带贴附目标对象与所述胶带之间的接触面积达到预定量为止，然后所述弹性片的膨胀速率被切换到第二速度，使所述胶带贴附目标对象的整个贴附表面接触所述胶带，所述第二速度高于所述第一速度。