Ni-W-Cr合金靶材的制造方法

摘要

本发明公开了一种Ni-W-Cr合金靶材的制造方法。该方法依次包括配料步骤，熔炼、铸锭步骤，锻造步骤，一次热处理步骤，轧制步骤、二次热处理步骤和机加工生产成品步骤。通过本发明方法制造的Ni-W-Cr合金靶材具有成品成分控制精确，成分分布均匀、无偏析，无夹杂，晶粒细小均匀，成品纯度高等优点，具体如下：成分控制精确≤0.2at%，平均晶粒度不大于16μm，纯度高达99.95%以上。

主权项

一种Ni‑W‑Cr合金靶材的制造方法，其特征在于，依次包括配料步骤，熔炼、铸锭步骤，锻造步骤，一次热处理步骤，轧制步骤、二次热处理步骤和机加工生产成品步骤，其中：在所述熔炼、铸锭步骤中，所述熔炼是采用真空感应熔炼，其中精炼时间为10～15分钟；当合金液体温度达到液相线以上50～100℃时浇铸；在所述锻造步骤中，将铸锭在1050～1250℃条件下保温2～4小时后进行锻造以得到锻坯；在所述一次热处理步骤中，将锻坯在1200℃～1320℃条件下保温12～36小时进行热处理；在所述轧制步骤中，将一次热处理后的板坯在1050～1250℃条件下保温1～1.5小时后进行热轧，然后冷却至室温并在室温条件下进行冷轧，所述冷轧的总变形量为50%以上；在所述二次热处理步骤中，将冷轧后得到的板坯在900℃～1100℃条件下保温30～120分钟，出炉空冷。