手动探针结构

摘要

本发明涉及基板生产技术领域，公开了一种手动探针结构，包括机架、可滑动地设于机架的桶架和可滑动地设于桶架上的精密定位器，精密定位器设有可三维调节的镜头悬臂和探针悬臂，镜头悬臂设有轮盘式倍率镜头模块，轮盘式倍率镜头模块包括固定于镜头悬臂的镜头座和可转动地安装于镜头座的镜盘，镜盘沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头；探针悬臂的前端设有针头，针头位于镜盘的下方，且转动镜盘，多个镜头可分别与针头相对应。本发明在选择镜头时，仅需要手动转动镜盘切换镜头，省时省力，方便快捷，定位准确，可满足不同倍率条件下的测试点寻找需求，提高检测效率。

主权项

一种手动探针结构，其特征在于，包括机架、可滑动地设于所述机架的桶架和可滑动地设于所述桶架上的精密定位器，所述精密定位器设有可三维调节的镜头悬臂和探针悬臂，所述镜头悬臂设有轮盘式倍率镜头模块，所述轮盘式倍率镜头模块包括固定于镜头悬臂的镜头座和可转动地安装于所述镜头座的镜盘，所述镜盘沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头；所述探针悬臂的前端设有针头，所述针头位于所述镜盘的下方，且转动镜盘，多个镜头可分别与针头相对应。