感光性树脂组合物、图案制造方法及电子部件

摘要

一种感光性聚合物组合物，含有(a)具有如下述通式(I)【化1】所示的重复单元的聚酰胺(式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团，p表示重复单元数的整数)；(b)经光照产生酸的化合物；及(c)如下述通式(II)【化2】所示的化合物(式中，m及n各自分别为1或2的整数；R各自分别为氢、烷基或酰基：R¹及R²各自分别表示碳原子数1～3的氟代烷基)。

主权项

一种感光性聚合物组合物，包括：a成分，所述a成分是具有如下述通式(I)所示的重复单元、且在末端具有来源于间氨基苯酚的酚性羟基的聚酰胺【化1】式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团、p为表示重复单元数的整数；b成分，所述b成分是经光照产生酸的化合物；c成分，所述c成分是2，2‑双[3，5‑双(羟甲基)‑4‑羟基苯基]‑1，1，1，3，3，3‑六氟丙烷或2，2‑双[3，5‑双(甲氧基甲基)‑4‑羟基苯基]‑1，1，1，3，3，3‑六氟丙烷；以及d成分，所述d成分是使上述a成分对于碱性水溶液的溶解性降低的化合物。