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<p>기판 홀딩 및 이송 어셈블리가 개시된다. 이 기판 홀딩 및 이송 어셈블리는 베이스판 및 그 베이스판에 이격된 방향으로 접속되는 한 쌍의 클램프를 포함하며, 한 쌍의 클램프의 이격된 방향은 적어도 2 개의 독립적 포인트로 기판의 지지를 가능하게 한다. 또한, 이 기판 홀딩 및 이송 어셈블리는, 한 쌍의 클램프의 실질적으로 그 사이에 있는 위치에서 베이스판에 접속되는 전극 어셈블리를 포함한다. 전극 어셈블리는, 기판이 제공되어 상기 한 쌍의 클램프에 의해 홀딩되는 경우 그 기판에 전기적 콘택트를 부여하도록 정의된다.</p> |
