基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统及其制备方法

摘要

本发明公开了基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统及其制备方法，该方法用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，MEMS悬臂梁与传输线之间会产生静电力，使悬臂梁下拉，那么悬臂梁与测试电极之间的间距变小，从而其电容值发生改变，通过测量变化的电容值，得到与之一一对应的微波功率。本发明的基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统包括砷化镓衬底，在衬底上设有面波导中心信号线(A)、并联的MEMS悬臂梁结构(B)以及电容式微波功率传感器(C)。当微波信号在面波导中心信号线上传输时，两个并联的MEMS悬臂梁在静电力的作用下产生位移，待测功率由电容式微波功率传感器检测。

主权项

一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，其特征在于：所述系统包括共面波导中心信号线(1)、悬臂梁(2)、测试电极(3)、压焊块一(4)、地线(5)、空气桥(6)、测试电极传输线(7)、压焊块二(8)、砷化镓衬底(9)；所述的砷化镓衬底(9)上方设有共面波导传输线，在共面波导中心信号线(1)上方设有悬臂梁(2)；悬臂梁(2)下方设有测试电极(3)，测试电极(3)通过金线连接测试电极传输线(7)；测试电极传输线(7)通过金线连接压焊块二(8)；压焊块一(4)通过金线连接悬臂梁(2)；空气桥(6)通过金线连接地线(5)；所述的共面波导传输线是由共面波导中心信号线(1)、共面波导地线(5)和空气桥(6)组成。