薄膜晶体管、显示面板以及其制造方法

摘要

本发明公开一种薄膜晶体管、显示面板以及其制造方法，该薄膜晶体管包括氧化物半导体层、栅绝缘图案、栅极、金属氧化物绝缘层、供氧层、源极以及漏极。氧化物半导体层具有源极区、漏极区以及通道区，且通道区位于源极区以及漏极区之间。栅绝缘图案位于氧化物半导体层的通道区上。栅极位于栅绝缘图案上。金属氧化物绝缘层覆盖氧化物半导体层。供氧层与金属氧化物绝缘层相接触。源极以及漏极位于供氧层的上方，且分别电连接氧化物半导体层的源极区以漏极区。此外，包括上述薄膜晶体管的显示面板及薄膜晶体管的制造方法也被提出。

主权项

一种薄膜晶体管，包括：氧化物半导体层，具有源极区、漏极区以及通道区，该通道区位于该源极区以及该漏极区之间；栅绝缘图案，位于该氧化物半导体层的该通道区上；栅极，位于该栅绝缘图案上；金属氧化物绝缘层，覆盖该氧化物半导体层；供氧层，与该金属氧化物绝缘层接触；以及源极以及漏极，位于该供氧层的上方，且分别电连接该氧化物半导体层的该源极区以及该漏极区。